플라즈마사업부

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플라즈마 시스템

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플라즈마란?

제 4의 물질 상태라고 알려져 있는 물질의 형태이며, 강력한 전기장 혹은 열원으로 가열되어 기체상태를 뛰어넘어 전자, 중성입자, 이온 등 입자들로 나누어진 상태.
이때는 전하 분리도가 상당히 높으면서도 전체적으로 음과 양의 전하수가 같아서 중성을 띠게 된 상태를 플라즈마라 합니다.

플라즈마 시스템

모델명 : NRPD-1000
  • 전기용량 : 3상 380v 또는 220v, 15kw
  • 시스템사이즈 : 1700(W) x 830(D) x 870(H)
  • 챔버규격 : 380(W) x 830(D) x 870(H)
  • 처리가스 : Ar, O2, H2, N2, CF4
  • 플라즈마 전원 : LF POWER 5KW
  • 제어방식 : Touch Panel에 의한 수동/자동 제어
  • 프로세스 기억 : 9개 공정 입력 및 저장
  • 응용공정 : 표면 크리닝, 표면 개질, 표면 에칭
모델명 : NRPD-2000
  • 전기용량 : 3상 380v 또는 220v, 20kw
  • 시스템사이즈 : 2000(W) x 1050(D) x 1800(H)
  • 챔버규격 : 110(W) x 830(D) x 870(H)
  • 처리가스 : Ar, O2, H2, N2, CF4
  • 플라즈마 전원 : LF POWER 10KW
  • 제어방식 : Touch Panel에 의한 수동/자동 제어
  • 프로세스 기억 : 9개 공정 입력 및 저장
  • 응용공정 : 표면 크리닝, 표면 개질, 표면 에칭