Parylene Coating 소개

Parylene Coating 이란?

Parylene Coating은 상온의 진공상태에서 가스형태로 형상에 관계 없이 나노미터(nm)및 마이크로미터(㎛) 두께 단위로 피사체에 증착 되는 고분자 코팅을 의미 합니다.
또한 Parylene Coating는 여러공급업체에서 판매하는 다양한 polyxylylene polymers 의 상표명 입니다.
Parylene Coating은 상온에서 표면에 직접 생성 되는 독특한 특성으로 인해 화학적으로 안정 되며, 탁월한 보호막을 형성 하여 전자,우주항공,의료,엔지니어링 등에서 장치부품 및 표면 보호를 위한 궁극적인 conformal coating으로 간주 됩니다.

Parylene Coating Process

Parylene Coating는 화학적기상증착법 ( Chemical Vapor Deposition : CVD)의 일종 입니다.
본 System은 크게 증발기 (Vaporizer), 열분해기 (Pyrolysis), 증착챔버 (Deposition Chamber) 3가지로 이루어져 있습니다.

STEP 1 (Vaporization)

분말형태의 원료가 Heating Area에 장입 가열이 되어 Dimer Gas를 형성 합니다.

STEP 2 (Pyrolysis)

Dimer Gas가 650℃ 이상 가열 되어 Dimer(이량체)를 Monomer(단량체)로 합니다.

STEP 3 (Desposition)

Monomer Gas는 상온의 증착챔버 내의 모든 표면에 얇고 투명한 Polymer Film막을 형성 합니다.